本发明公开一种高密度柔性IC基板氧化区域检测方法，本方法分为彩色图像灰度化、图像去噪预处理、阈值分割、空间滤波修正和氧化区域面积计算五大部分。首先将彩色图像灰度化，达到去除冗余彩色空间信息的目的，为后续操作节约时间；其次提出加权邻域闭曲线均值模板对图像去噪处理且比现有的滤波器去噪时间短；再次阈值分割，分割出覆铜板上被氧化的区域；然后进行空间滤波修正，主要目的是再次去除噪声、斑点或孤立点等；最后计算图像中被氧化的面积。本发明解决了柔性IC基板氧化检测过程的高分辨率显微图像面积快速计算难题。